Alüminyum Nitrür Tabanlı Yüzey Akustik Dalga Aygıtları Üzerine Çalışma: Tasarım, İmalat, Analiz Ve Simülasyon Sonuçları İle Karşılaştırma

Abstract

1885 yılında Lord Rayleigh tarafından ilk defa ifade edilen yüzey akustik dalgalar (SAW) ile ilgili çalışmalar günümüzde yoğun bir şekilde etkinliğini sürdürmektedir. Bu dalgalar, yüksek frekanslı cihazlar, radar sistemleri, mobil haberleşme sistemleri, otomobil sektörü, görüntüleme sistemleri, uzaktan kontrol sistemleri ve sensör üretimi gibi pek çok uygulama alanında yer almaktadır ve kullanımı günümüz teknolojisinde büyük bir önem taşımaktadır. Proje kapsamında bu dalgaların simülasyon uygulamaları ve üretim yöntemleri ile analiz edilmesi ve yorumlanmasına yönelik bir çalışma gerçekleştirilmesi planlanmış ve çalışma sonucunda simülasyon sonuçlarının gerçek ortamdaki sonuçlarla uyumunun bilimsel olarak ortaya koymak hedeflenmektedir. Çalışmada elde edilecek sonuçların literatüre önemli katkılar sağlayacağı düşünülmüştür ve bu proje ile sensör geliştirmeye yönelik önemli bir adım atılmıştır. Çalışma ince film teknolojisine yönelik bir çalışmadır. Bununla birlikte, SAW tabanlı sensörün duyarlılığı, hassasiyeti ve performansına yönelik araştırmaları içermektedir. Bu kapsamda üretimi yapılacak sensörün saçılma parametreleri simülasyon programında elde edilen sonuçlarla karşılaştırılacaktır. Projede magnetron sputtering cihazı ile piezoelektrik özelliği gösteren alüminyum nitrür (AlN) film kaplama yapılacaktır. Elde edilen malzemenin karakterizasyonu X-ışını difraktometresi ile gerçekleştirilecektir. İnce film üzerine geçmeli tarak yapılarının oluşturulması için maskesiz fotolitografi tekniği kullanılacaktır. Oluşturulan bu tarak yapılarının metal ile kaplanması için termal buharlaştırma yöntemi kullanılacaktır. Takip edilen aşamalar sonucunda istenilen SAW sensörü üretilecektir ve üretilen sensörün karakterizasyonu gerçekleştirilecektir. Projenin 13 ay içerisinde tamamlanması hedeflenmektedir. Proje yürütücüsü hem projenin yönetimi hem de araştırılmasından sorumludur.